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隔膜壓縮機由電機驅動，通過皮帶輪轉動曲軸，再經過連桿使油缸中的活塞作往復直線運動，推動油液，使膜片做往復振動，在進排氣閥的控制下，膜片每振動一次，即完成一次進排氣過程。膜壓機工作時，油缸中少量油液通過活塞環玉缸壁及環槽的間隙泄漏到油箱中。為了補償這部分油量，使膜片在壓縮機行程終了時能緊貼缸蓋曲面，排凈壓縮介質，補償油泵在膜壓機的吸氣過程中將油注入油缸，油量略多于泄漏量，多余油量在壓縮機行程終了時，通過控制油壓的調壓閥流回曲軸箱。
由于膜片將氣缸與油缸完全隔開，使被壓縮的介質不與油液接觸，因而避免油液的污染，保證了壓縮介質的純度。氣缸有缸蓋曲面和膜片組成，是個封閉的空腔，因此具有良好的密封性。
隔膜式壓縮機是一種特殊結構的往復式壓縮機，壓縮比大、密封性好、壓縮氣體不受潤滑油和其他固體雜質所污染，適用于壓縮高純度、稀有貴重、易燃易爆、有毒有害、具有腐蝕性以及高壓等氣體。
| 產品型號 | 容積流量 Nm 3/h | 進氣壓力 MPa（G） | 排氣壓力 MPa（G） | 轉速 r/min | 壓縮機外形尺寸 （L×W×H）mm | 重量 t | 水耗量 t/h | 功率 kW |
| M2Z-5/13 | 5 | 常壓 | 1.3 | 400 | 1200×600×1000 | 0.5 | 0.2 | 1.5 |
| M2Z-5/13-200 | 5 | 1.3 | 20 | 400 | 1200×600×1200 | 0.5 | 0.25 | 1.5 |
| M2Z-18/80-350 | 18 | 8 | 35 | 400 | 1459×1000×1320 | 0.6 | 0.7 | 5.5 |
| M2Z-12/7.5-40 | 12 | 0.75 | 4 | 400 | 1250×650×950 | 0.5 | 0.3 | 3 |
| M2Z-30/150-320 | 30 | 15 | 32 | 400 | 1200×650×1230 | 0.5 | 0.25 | 5.5 |
| M2Z-5/30-400 | 5 | 3 | 40 | 400 | 1200×800×1450 | 0.5 | 0.1 | 1.5 |
| M2Z-50/31-51 | 50 | 3.1 | 5.1 | 400 | 1300×800×1250 | 0.6 | 0.3 | 3 |
| M2Z-70/30-35 | 70 | 3 | 3.5 | 400 | 1300×800×1250 | 0.6 | 0.08 | 3 |
| M2Z-7/6-50 | 7 | 0.6 | 5 | 400 | 1350×809×1480 | 0.6 | 0.5 | 3 |
| M2Z-50/6-10 | 50 | 0.6 | 1.0 | 400 | 1280×760×1200 | 0.6 | 0.5 | 3 |
| M3Z-80/1-10-20 | 80 | 0.1-1 | 2 | 400 | 1720×1000×1650 | 1.5 | 0.8 | 7.5 |
| M3Z-20/13-200 | 20 | 1.3 | 20 | 400 | 1720×890×1640 | 1.4 | 0.8 | 7.5 |
| M3Z-60/30-150 | 60 | 3 | 15 | 400 | 1720×890×1635 | 1.4 | 0.8 | 15 |
| M3Z-50/6-50 | 50 | 0.6 | 5 | 400 | 1720×1050×1650 | 1.5 | 0.8 | 15 |
| M3Z-50/6-30 | 50 | 0.6 | 3 | 400 | 1720×1050×1650 | 1.5 | 1 | 15 |
| M3Z-22/1-10 | 22 | 0.1 | 1 | 400 | 2200×1600×1700 | 1.5 | 1.2 | 15 |
| M3Z-185/6-15 | 185 | 0.6 | 1.5 | 400 | 1700×1260×1550 | 1.5 | 0.7 | 11 |
